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J-GLOBAL ID：200902126099314210 整理番号：93A0664074

As注入拡散層中のFeの挙動

Influence of Fe in As implanted diffusion layer.

著者 (5件)：

十川政雄

(菱電セミコンダクタシステムエンジニアリング)

神原恭子

(菱電セミコンダクタシステムエンジニアリング)

高橋武人

(三菱電機 LSI研)

小河育夫

(三菱電機 LSI研)

日根史郎

(菱電セミコンダクタシステムエンジニアリング)

資料名：

応用物理学関係連合講演会講演予稿集 (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)

巻： 40th 号： Pt 2 ページ： 627 発行年： 1993年03月
JST資料番号： Y0054A 資料種別：会議録 (C)
発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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