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J-GLOBAL ID：200902126111310810 整理番号：98A0800773

p型GaNに対するオーム性電極材の酸素アニール効果

Effects of annealing in an oxygen ambient on electrical properties of Ohmic contacts to p-GaN.

著者 (6件)：

前田知幸

(京大大学院)

藤田聡

(京大大学院)

小出康夫

(京大大学院)

村上正紀

(京大大学院)

上村俊也

(豊田合成)

柴田直樹

(豊田合成)

資料名：

電子情報通信学会技術研究報告 (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))

巻： 98 号： 185(ED98 84-97) ページ： 89-94 発行年： 1998年07月22日
JST資料番号： S0532B ISSN： 0913-5685 資料種別：会議録 (C)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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