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文献
J-GLOBAL ID：200902126141247757
整理番号：93A0693882
連続的Czochralskiシリコン工程における2重るつぼ法の熱解析 II 数値解析
Thermal Analysis of the Double-Crucible Method in Continuous Silicon Czochralski Processing. II. Numerical Analysis.
ONO N
(Mitsubishi Materials Corp., Saitama, JPN)
,
KIDA M
(Mitsubishi Materials Corp., Saitama, JPN)
,
ARAI Y
(Mitsubishi Materials Corp., Saitama, JPN)
,
SAHIRA K
(Mitsubishi Materials Corp., Saitama, JPN)
資料名：
Journal of the Electrochemical Society
(Journal of the Electrochemical Society)
巻： 140 号： 7 ページ： 2106-2111 発行年： 1993年07月
JST資料番号： C0285A ISSN： 1945-7111 CODEN： JESOAN 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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