文献
J-GLOBAL ID:200902126372828841
整理番号:01A0426379
MEMSの工業検査への応用
Applications of MEMS to industrial inspection.
著者 (1件):
TAKEDA M
(Mitsubishi Electric Corp., Hyogo, JPN)
資料名:
Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems
(Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻:
14th
ページ:
182-191
発行年:
2001年
JST資料番号:
W0377A
ISSN:
1084-6999
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
文献レビュー
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)