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文献
J-GLOBAL ID：200902126423995560
整理番号：97A0144389
四面体非晶質炭素薄膜の構造
The structure of tetrahedral amorphous carbon thin films.
SILVA S R P
(Univ. Surrey, Surrey, GBR)
,
XU S
(Nanyang Technol. Univ., Singapore, SGP)
,
TAY B K
(Nanyang Technol. Univ., Singapore, SGP)
,
TAN H S
(Nanyang Technol. Univ., Singapore, SGP)
,
SCHEIBE H-J
(Fraunhofer-Inst. Werkstoffphysik und Schichttechnol., Dresden, DEU)
,
CHHOWALLA M
(Cambridge Univ., Cambridge, GBR)
,
MILNE W I
(Cambridge Univ., Cambridge, GBR)
資料名：
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻： 290/291 ページ： 317-322 発行年： 1996年12月15日
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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