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文献
J-GLOBAL ID：200902126440070804
整理番号：93A0728312
放射光トポグラフィーによるシリコン結晶中の微小欠陥の観察 高エネルギーX線・高次反射の利用
Observation of microdefects in silicon crystals by synchrotron radiation topography.
飯田敏
(富山大 理)
,
杉田吉充
(富山大 理)
,
竹野博
(信越半導体)
,
阿部孝夫
(信越半導体)
資料名：
応用物理
(JSAP International)
巻： 62 号： 8 ページ： 818-821 発行年： 1993年08月
JST資料番号： F0252A ISSN： 0369-8009 CODEN： OYBSA 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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