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文献
J-GLOBAL ID：200902126842170724
整理番号：94A0075907
スケールとレーザ干渉計 2つの測定システムの性能と比較
Scales vs. Laser Interferometers Performance and Comparison of Two Measuring Systems.
KUNZMANN H
(PTB Braunschweig, DEU)
,
PFEIFER T
(RWTH Aachen, DEU)
,
FLUEGGE J
(PTB Braunschweig, DEU)
資料名：
CIRP Annals (International Inst. for Production Engineering Research)
(CIRP Annals (International Inst. for Production Engineering Research))
巻： 42 号： 2 ページ： 753-767 発行年： 1993年
JST資料番号： E0026A ISSN： 0007-8506 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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