文献
J-GLOBAL ID:200902126999152541
整理番号:93A0851636
In-situ temperature monitoring in RTP by acoustical techniques.
著者 (5件):
DEGERTEKIN F L
(Stanford Univ., CA)
,
PEI J
(Stanford Univ., CA)
,
LEE Y J
(Texas Instruments, Texas)
,
KHURI-YAKUB B T
(Stanford Univ., CA)
,
SARASWAT K C
(Stanford Univ., CA)
資料名:
Rapid Thermal and Integrated Processing 2
(Rapid Thermal and Integrated Processing 2)
ページ:
133-138
発行年:
1993年
JST資料番号:
K19930495
ISBN:
1-55899-199-9
資料種別:
会議録 (C)
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)