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文献
J-GLOBAL ID：200902127000143474
整理番号：99A0237863
ナノメータスケールのパターン決定におけるナノインプリンティング法の諸問題
Problems of the nanoimprinting technique for nanometer scale pattern definition.
SCHEER H-C
(Bergische Univ. Gesamthochsch. Wuppertal, Wuppertal, DEU)
,
SCHULZ H
(Bergische Univ. Gesamthochsch. Wuppertal, Wuppertal, DEU)
,
HOFFMANN T
(Bergische Univ. Gesamthochsch. Wuppertal, Wuppertal, DEU)
,
TORRES C M S
(Bergische Univ. Gesamthochsch. Wuppertal, Wuppertal, DEU)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻： 16 号： 6 ページ： 3917-3921 発行年： 1998年11月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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