文献
J-GLOBAL ID:200902127167931385
整理番号:95A0925480
SiCl4の解離過程とSiCl4-He直流放電の開始時における,過渡的分光法により測定されたプラズマパラメータ
Dissociation Processes of SiCl4 and Plasma Parameters measured by Transient Spectroscopy at the Beginning of a SiCl4-Helium dc Discharge.
著者 (5件):
SAKURAI T
(Yamanashi Univ., Kofu, JPN)
,
KOBAYASHI S
(Yamanashi Univ., Kofu, JPN)
,
OGURA J
(Yamanashi Univ., Kofu, JPN)
,
INOUE Y
(Yamanashi Univ., Kofu, JPN)
,
HORI H
(Yamanashi Univ., Kofu, JPN)
資料名:
Australian Journal of Physics
(Australian Journal of Physics)
巻:
48
号:
3
ページ:
515-526
発行年:
1995年
JST資料番号:
A0493A
ISSN:
0004-9506
CODEN:
AUJPA
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オーストラリア (AUS)
言語:
英語 (EN)