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文献
J-GLOBAL ID：200902127216988754
整理番号：93A0912395
超高真空用の簡単で小型の高純度Cr蒸発器
Simple, compact, high-purity Cr evaporator for ultrahigh vacuum.
MCCLELLAND J J
(National Inst. Standards and Technology, Maryland)
,
UNGURIS J
(National Inst. Standards and Technology, Maryland)
,
SCHOLTEN R E
(National Inst. Standards and Technology, Maryland)
,
PIERCE D T
(National Inst. Standards and Technology, Maryland)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 11 号： 5 ページ： 2863-2864 発行年： 1993年09月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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