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文献
J-GLOBAL ID：200902127264781150
整理番号：02A0486989
銅を用いたパターン化の最近の動向
Current Trends in Patterning with Copper.
RICKERBY J
(Imperial Coll. Sci., Technol. and Medicine, London, GBR)
,
STEINKE J H G
(Imperial Coll. Sci., Technol. and Medicine, London, GBR)
資料名：
Chemical Reviews
(Chemical Reviews)
巻： 102 号： 5 ページ： 1525-1549 発行年： 2002年05月
JST資料番号： B0256A ISSN： 0009-2665 CODEN： CHREAY 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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