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文献
J-GLOBAL ID:200902127512678272   整理番号:99A0525575

ほう素を浅く注入したけい素における電気的活性化の速度論

Electrical activation kinetics for shallow boron implants in silicon.
著者 (2件):
FIORY A T
(Bell Lab., New Jersey)
BOURDELLE K K
(Bell Lab., Florida)

資料名:
Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)

巻: 74  号: 18  ページ: 2658-2660  発行年: 1999年05月03日 
JST資料番号: H0613A  ISSN: 0003-6951  CODEN: APPLAB  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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