文献
J-GLOBAL ID:200902127524925720
整理番号:98A0373119
自己集合単層島状構造を用いたSiO2表面とSiO2/Si界面の同時観察
Simultaneous Observation of SiO2 Surface and SiO2/Si Interface Using Self-Assembled-Monolayer Island.
著者 (3件):
KOMEDA T
(Texas Instruments, Ibaraki, JPN)
,
NAMBA K
(Texas Instruments, Ibaraki, JPN)
,
NISHIOKA Y
(Texas Instruments, Ibaraki, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters)
巻:
37
号:
2B
ページ:
L214-L217
発行年:
1998年02月15日
JST資料番号:
F0599B
ISSN:
0021-4922
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)