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文献
J-GLOBAL ID：200902127710810119
整理番号：93A0470170
Proximity compensated kinoforms directly written by e-beam lithography.
EKBERG M
(Chalmers Univ. Technology, Goeteborg, SWE)
,
LARSSON M
(Chalmers Univ. Technology, Goeteborg, SWE)
,
NIKOLAJEFF F
(Chalmers Univ. Technology, Goeteborg, SWE)
,
HARD S
(Chalmers Univ. Technology, Goeteborg, SWE)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 1732 ページ： 75-76 発行年： 1993年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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