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文献
J-GLOBAL ID：200902127718549452
整理番号：95A0161709
Mechanical and optical properties of surface micromachined torsional mirrors in silicon, polysilicon and aluminum.
JAECKLIN V P
(Univ. Neuchatel, Neuchatel, CHE)
,
LINDER C
(Univ. Neuchatel, Neuchatel, CHE)
,
BRUGGER J
(Univ. Neuchatel, Neuchatel, CHE)
,
DE ROOIJ N F
(Univ. Neuchatel, Neuchatel, CHE)
,
MORET J-M
(Swiss Center for Electronics and Microtechnology Inc.(CSEM), Neuchatel, CHE)
,
VUILLEUMIER R
(Swiss Center for Electronics and Microtechnology Inc.(CSEM), Neuchatel, CHE)
資料名：
Sensors and Actuators. A. Physical
(Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 43 号： 1/3 ページ： 269-275 発行年： 1994年05月
JST資料番号： B0345C ISSN： 0924-4247 資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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