文献
J-GLOBAL ID:200902127775335175
整理番号:94A0139541
Nanofabrication of photonic lattice structures in GaAs/AlGaAs.
著者 (5件):
WENDT J R
(Sandia National Lab., New Mexico)
,
VAWTER G A
(Sandia National Lab., New Mexico)
,
GOURLEY P L
(Sandia National Lab., New Mexico)
,
BRENNAN T M
(Sandia National Lab., New Mexico)
,
HAMMONS B E
(Sandia National Lab., New Mexico)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻:
11
号:
6
ページ:
2637-2640
発行年:
1993年11月
JST資料番号:
E0974A
ISSN:
1071-1023
CODEN:
JVTBD9
資料種別:
逐次刊行物 (A)
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)