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文献

J-GLOBAL ID：200902128159028192 整理番号：96A0383603

Miniature tilting mechanism using piezoelectric actuators.

著者 (3件)：

TAWARA S

(Mitsubishi Heavy Ind., Ltd., Yokohama, JPN)

GOTO T

(Mitsubishi Heavy Ind., Ltd., Yokohama, JPN)

MITSUI K

(Keio Univ., Yokohama, JPN)

資料名：

Proceedings of SPIE (Proceedings of SPIE)

巻： 2593 ページ： 71-78 発行年： 1995年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別：会議録 (C)
発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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