前のページに戻る
この文献は全文を取り寄せることができます
JDreamⅢ複写サービスから文献全文の複写（冊子体のコピー）をお申込みできます。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
既に、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDをお持ちの方
JDreamⅢ複写サービスのご利用が初めての方
取り寄せる文献のタイトルと詳細
文献
J-GLOBAL ID：200902128325003012
整理番号：95A0658365
ジメチルエチルアミン・アランとアンモニアを用いる常圧有機金属化学蒸着による低温でのAlN蒸着
Deposition of AIN at lower temperatures by atmospheric metalorganic chemical vapor deposition using dimethylethylamine alane and ammonia.
KIDDER J N JR
(Univ. Washington, Washington)
,
KUO J S
(Univ. Washington, Washington)
,
LUDVIKSSON A
(Univ. Washington, Washington)
,
PEARSALL T P
(Univ. Washington, Washington)
,
ROGERS J W JR
(Univ. Washington, Washington)
,
GRANT J M
(Sharp Microelectronics Technol. Inc., Washington)
,
ALLEN L R
(Sharp Microelectronics Technol. Inc., Washington)
,
HSU S T
(Sharp Microelectronics Technol. Inc., Washington)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 13 号： 3 Pt 1 ページ： 711-715 発行年： 1995年05月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
JDreamⅢ複写サービスとは
JDreamⅢ複写サービスは、学術文献の全文を複写（コピー）して取り寄せできる有料サービスです。インターネットに公開されていない文献や、図書館に収録されていない文献の全文を、オンラインで取り寄せることができます。J-GLOBALの整理番号にも対応しているので、申し込みも簡単にできます。全文の複写（コピー）は郵送またはFAXでお送りします
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。