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文献
J-GLOBAL ID：200902128404213952
整理番号：98A0403514
マイクロエレクトロ機械システム(MEMS)と流体流れ
Micro-electro-mechanical-systems(MEMS) and fluid flows.
HO C-M
(Univ. California at Los Angeles, California)
,
TAI Y-C
(California Inst. Technol., California)
資料名：
Annual Review of Fluid Mechanics
(Annual Review of Fluid Mechanics)
巻： 30 ページ： 579-584,584(1)-584(2),585-612 発行年： 1998年
JST資料番号： A0044A ISSN： 0066-4189 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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