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文献
J-GLOBAL ID：200902128568007652
整理番号：98A0973813
弾性表面波リニアモータの小型化に関する研究 第1報 40MHzモータの試作
Research on miniaturization of surface acoustic wave linear motor. 1st report. Trial manufacture of 40MHz motor.
高崎正也
(東大)
,
黒沢実
(東大)
,
樋口俊郎
(東大)
資料名：
精密工学会大会学術講演会講演論文集
(精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 1998 号： 秋季 ページ： 572 発行年： 1998年09月
JST資料番号： Y0914A 資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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