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文献
J-GLOBAL ID：200902128584226224
整理番号：97A0823437
シランを用いた高周波放電プラズマにおける電子とイオンのエネルギーの制御
Electron and Ion Energy Controls in a Radio Frequency Discharge Plasma with Silane.
KATO K
(Tohoku Univ., Miyagi, JPN)
,
IIZUKA S
(Tohoku Univ., Miyagi, JPN)
,
GANGULY G
(Electrotechnical Lab., Ibaraki, JPN)
,
IKEDA T
(Electrotechnical Lab., Ibaraki, JPN)
,
MATSUDA A
(Electrotechnical Lab., Ibaraki, JPN)
,
SATO N
(Tohoku Univ., Miyagi, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 36 号： 7B ページ： 4547-4550 発行年： 1997年07月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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