文献
J-GLOBAL ID:200902128639693463
整理番号:96A0642927
マグネトロンスパッタリングによって作製されたダイヤモンドに近い水素フリー非晶質炭素膜
Hydrogen-free amorphous carbon films approaching diamond prepared by magnetron sputtering.
著者 (1件):
LOGOTHETIDIS S
(Aristotle Univ. Thessaloniki, Thessaloniki, GRC)
資料名:
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻:
69
号:
2
ページ:
158-160
発行年:
1996年07月08日
JST資料番号:
H0613A
ISSN:
0003-6951
CODEN:
APPLAB
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)