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文献
J-GLOBAL ID：200902129244699370
整理番号：93A0601284
原子状水素とa-Si:H表面との相互作用
Chemical reaction between atomic hydrogen and solid-a-Si:H surface.
石田英伸
(東京工大 大学院 総合理工学研究科)
,
中村謙次郎
(東京工大 大学院 総合理工学研究科)
,
武岡伸也
(東京工大 大学院 総合理工学研究科)
,
白井肇
(東京工大 大学院 総合理工学研究科)
,
半那純一
(東京工大 大学院 総合理工学研究科)
,
清水勇
(東京工大 大学院 総合理工学研究科)
資料名：
電気化学協会大会講演要旨集
巻： 60th ページ： 316 発行年： 1993年03月
JST資料番号： Y0048A 資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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