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文献
J-GLOBAL ID：200902129312402429
整理番号：01A0264669
誘導結合プラズマ源によるイオン注入における窒素イオン種の比の測定
The measurement of nitrogen ion species ratio in inductively coupled plasma source ion implantation.
CHO J
(Hanyang Univ.-Ansan, Kyunggi-do, KOR)
,
HAN S
(Korea Inst. Sci. and Technol., Seoul, KOR)
,
LEE Y
(Korea Inst. Sci. and Technol., Seoul, KOR)
,
KIM O K
(Hanyang Univ.-Ansan, Kyunggi-do, KOR)
,
KIM G-H
(Hanyang Univ.-Ansan, Kyunggi-do, KOR)
,
KIM Y-W
(Hanyang Univ.-Ansan, Kyunggi-do, KOR)
,
LIM H
(Korea Inst. Sci. and Technol., Seoul, KOR)
,
SUH M
(Korea Inst. Sci. and Technol., Seoul, KOR)
資料名：
Surface & Coatings Technology
(Surface & Coatings Technology)
巻： 136 号： 1/3 ページ： 106-110 発行年： 2001年02月02日
JST資料番号： D0205C ISSN： 0257-8972 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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