文献
J-GLOBAL ID:200902129395021219
整理番号:98A0293263
RuO2及びRuボトム電極のアニーリングと(Ba,Sr)TiO3薄膜の電気特性へのその効果
Annealing of RuO2 and Ru Bottom Electrodes and Its Effects on the Electrical Properties of (Ba,Sr)TiO3 Thin Films.
著者 (4件):
AHN J-H
(Korea Advanced Inst. Sci. and Technol., Taejon, KOR)
,
CHOI W-Y
(Korea Advanced Inst. Sci. and Technol., Taejon, KOR)
,
LEE W-J
(Korea Advanced Inst. Sci. and Technol., Taejon, KOR)
,
KIM H-G
(Korea Advanced Inst. Sci. and Technol., Taejon, KOR)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻:
37
号:
1
ページ:
284-289
発行年:
1998年01月
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)