文献
J-GLOBAL ID:200902129400884450
整理番号:99A0609640
YBa2Cu3Ox薄膜の有機金属化合物気相蒸着中分光偏光解析法によるその場成長モニタリング
In Situ Growth Monitoring During Metalorganic Chemical Vapor Deposition of YBa2Cu3Ox Thn Films by Spectroscopic Ellipsometry.
著者 (7件):
YAMAMOTO S
(Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN)
,
SUGAI S
(Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN)
,
MATSUKAWA Y
(Musashi Inst. Technol., Tokyo, JPN)
,
SENGOKU A
(Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN)
,
TOBISAKA H
(Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN)
,
HATTORI T
(Musashi Inst. Technol., Tokyo, JPN)
,
ODA S
(Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters)
巻:
38
号:
6A/B
ページ:
L632-L635
発行年:
1999年06月15日
JST資料番号:
F0599B
ISSN:
0021-4922
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)