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文献
J-GLOBAL ID：200902129580662492
整理番号：99A0675007
原子間力顕微鏡を用いたチップ押込法によるマイクロレジストパターンの崩壊特性の解析
Collapse behavior of microresist pattern analyzed by the tip indentation method with an atomic force microscope.
KAWAI A
(Nagaoka Univ. Technol., Niigata, JPN)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻： 17 号： 3 ページ： 1090-1093 発行年： 1999年05月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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