文献
J-GLOBAL ID:200902129828492360
整理番号:93A0732356
A Flexible Test Structure Evaluation System for Reliability Data Analysis.
著者 (3件):
MORI M
(NTT LSI Lab., Kanagawa, JPN)
,
KURIYAMA Y
(NTT LSI Lab., Kanagawa, JPN)
,
SHIONO N
(NTT LSI Lab., Kanagawa, JPN)
資料名:
Proceedings. IEEE International Conference on Microelectronic Test Structures
(Proceedings. IEEE International Conference on Microelectronic Test Structures)
巻:
1993
ページ:
195-200
発行年:
1993年
JST資料番号:
T0991A
資料種別:
会議録 (C)
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)