文献
J-GLOBAL ID:200902129877347316
整理番号:02A0001848
IMPACT ADCにおける複数の分類技術の同時使用によるレビューサンプル形成
Review Sample Shaping Through the Simultaneous Use of Multiple Classification Technologies in IMPACT ADC.
著者 (4件):
WOOTTON P
(Motorola, South Queensferry, GBR)
,
SAVILLE B
(KLA-Tencor Corp.)
,
LUTZ A
(KLA-Tencor Corp.)
,
OAKLEY J
(KLA-Tencor Corp.)
資料名:
IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference and Workshop
(IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference and Workshop)
巻:
12th
ページ:
207-217
発行年:
2001年
JST資料番号:
W0718A
ISSN:
1078-8743
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
解説
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)