文献
J-GLOBAL ID:200902130054599180
整理番号:94A0402682
a-Cおよびa-C:Hの堆積機構
Deposition mechanism of a-C and a-C:H.
著者 (1件):
ROBERTSON J
(National Power Labs., Surrey, GBR)
資料名:
Journal of Non-Crystalline Solids
(Journal of Non-Crystalline Solids)
巻:
164/166
号:
Pt 2
ページ:
1115-1118
発行年:
1993年12月
JST資料番号:
D0642A
ISSN:
0022-3093
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)