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文献
J-GLOBAL ID:200902130320263371   整理番号:95A0396294

電気的に加工を制御した,機械,化学作用複合ポリシング法の研究

A Study of Electrical-Mechanical-Chemical(EMC) Polishing.
著者 (1件):
左光大和
(新日本製鉄)

資料名:
精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)

巻: 61  号:ページ: 552-555  発行年: 1995年04月 
JST資料番号: F0268A  ISSN: 0912-0289  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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