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文献
J-GLOBAL ID：200902130320263371
整理番号：95A0396294
電気的に加工を制御した,機械,化学作用複合ポリシング法の研究
A Study of Electrical-Mechanical-Chemical(EMC) Polishing.
左光大和
(新日本製鉄)
資料名：
精密工学会誌
(Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 61 号： 4 ページ： 552-555 発行年： 1995年04月
JST資料番号： F0268A ISSN： 0912-0289 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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