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文献
J-GLOBAL ID：200902130558322040
整理番号：01A1072817
気体クラスタイオンビームによる材料加工
Materials processing by gas cluster ion beams.
YAMADA I
(Himeji Inst. Technol., Hyogo, JPN)
,
MATSUO J
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
TOYODA N
(Himeji Inst. Technol., Hyogo, JPN)
,
KIRKPATRICK A
(Epion Corp., MA, USA)
資料名：
Materials Science & Engineering. R. Reports
(Materials Science & Engineering. R. Reports)
巻： R34 号： 6 ページ： 231-295 発行年： 2001年10月30日
JST資料番号： T0341A ISSN： 0927-796X 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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