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文献
J-GLOBAL ID：200902130762829447
整理番号：00A0663983
超薄膜マイクロカンチレバーの機械的挙動
Mechanical behavior of ultrathin microcantilever.
YANG J
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
ONO T
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
ESASHI M
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
資料名：
Sensors and Actuators. A. Physical
(Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： A82 号： 1/3 ページ： 102-107 発行年： 2000年05月15日
JST資料番号： B0345C ISSN： 0924-4247 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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