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文献
J-GLOBAL ID：200902130785088339
整理番号：99A0795882
エッジ解像度測定としての見かけビーム幅のモデリングと実験的側面
Modeling and Experimental Aspects of Apparent Beam Width as an Edge Resolution Measure.
ARCHIE C
(IBM Microelectronics, New York)
,
LOWNEY J
(National Inst. Standards and Technol., Maryland)
,
POSTEK M T
(National Inst. Standards and Technol., Maryland)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 3677 号： Pt.2 ページ： 669-685 発行年： 1999年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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