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文献
J-GLOBAL ID：200902130799510092
整理番号：99A0040334
酸化インジウムすず薄膜の高速マスクレスレーザパターニング
High-speed maskless laser patterning of indium tin oxide thin films.
YAVAS O
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
TAKAI M
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
資料名：
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻： 73 号： 18 ページ： 2558-2560 発行年： 1998年11月02日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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