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文献
J-GLOBAL ID：200902130916210038
整理番号：96A0143272
均質薄膜における高NA結像理論
Theory of high-NA imaging in homogeneous thin films.
FLAGELLO D G
(ASM Lithography, Veldhoven, NLD)
,
MILSTER T
(Univ. Arizona, Arizona)
,
ROSENBLUTH A E
(IBM T.J. Watson Res. Center, New York)
資料名：
Journal of the Optical Society of America. A. Optics, Image Science, and Vision
(Journal of the Optical Society of America. A. Optics, Image Science, and Vision)
巻： 13 号： 1 ページ： 53-64 発行年： 1996年01月
JST資料番号： C0327B ISSN： 1084-7529 CODEN： JOAOD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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