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文献
J-GLOBAL ID：200902131175336612
整理番号：01A0749400
近接感知とクラック検出用のオンチップ渦電流センサ
On-chip eddy current sensor for proximity sensing and crack detection.
SADLER D J
(Univ. Cincinnati, OH, USA)
,
AHN C H
(Univ. Cincinnati, OH, USA)
資料名：
Sensors and Actuators. A. Physical
(Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： A91 号： 3 ページ： 340-345 発行年： 2001年07月15日
JST資料番号： B0345C ISSN： 0924-4247 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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