文献
J-GLOBAL ID:200902131681211755
整理番号:00A0711149
comb-fingerセンシングを備えたCMOS z-軸容量性加速度計
A CMOS Z-Axis Capacitive Accelerometer with Comb-Finger Sensing.
著者 (2件):
XIE H
(Carnegie Mellon Univ., PA, USA)
,
FEDDER G K
(Carnegie Mellon Univ., PA, USA)
資料名:
IEEE Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems
(IEEE Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems)
巻:
13th
ページ:
496-501
発行年:
2000年
JST資料番号:
W1183A
ISSN:
1084-6999
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)