文献
J-GLOBAL ID:200902131722908936
整理番号:95A0945453
酸素ラジカルビームrf源の性能特性
Performance characteristics of an oxygen radical beam radio-frequency source.
著者 (3件):
IMAI F
(Univ. Tsukuba, Ibaraki, JPN)
,
KUNIMORI K
(Univ. Tsukuba, Ibaraki, JPN)
,
NOZOYE H
(National Inst. Materials and Chemical Res., Ibaraki, JPN)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻:
13
号:
5
ページ:
2508-2512
発行年:
1995年09月
JST資料番号:
C0789B
ISSN:
0734-2101
CODEN:
JVTAD6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)