文献
J-GLOBAL ID:200902132037971125
整理番号:93A0870309
オンチップ絶対静電容量測定系の高感度CMOS湿度センサ
High sensitivity CMOS humidity sensors with on-chip absolute capacitance measurement system.
著者 (3件):
BOLTSHAUSER T
(ETH Zurich, Zurich, CHE)
,
LEME C A
(ETH Zurich, Zurich, CHE)
,
BALTES H
(ETH Zurich, Zurich, CHE)
資料名:
Sensors and Actuators. B. Chemical
(Sensors and Actuators. B. Chemical)
巻:
15
号:
1/3
ページ:
75-80
発行年:
1993年08月
JST資料番号:
T0967A
ISSN:
0925-4005
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)