文献
J-GLOBAL ID:200902132197795480
整理番号:96A0711779
真空マイクロエレクトロニクス用の円錐形の金属-絶縁体-半導体カソード
Cone-shaped metal-insulator-semiconductor cathode for vacuum microelectronics.
著者 (5件):
ISHIKAWA J
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
INOUE K
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
SADAKANE S
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
GOTOH Y
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
TSUJI H
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻:
14
号:
3
ページ:
1970-1972
発行年:
1996年05月
JST資料番号:
E0974A
ISSN:
1071-1023
CODEN:
JVTBD9
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)