文献
J-GLOBAL ID:200902132242457809
整理番号:01A0732227
各種条件下でのポリテトラフルオロエチレンのrfマグネトロンスパッタリング
Rf magnetron sputtering of polytetrafluoroethylene under various conditions.
著者 (7件):
BIEDERMAN H
(Charles Univ., Prague, CZE)
,
ZEUNER M
(IOT-Innovative Oberflaechentechnologien GmbH, Leipzig, DEU)
,
ZALMAN J
(Charles Univ., Prague, CZE)
,
BILKOVA P
(Charles Univ., Prague, CZE)
,
SLAVINSKA D
(Charles Univ., Prague, CZE)
,
STELMASUK V
(Charles Univ., Prague, CZE)
,
BOLDYREVA A
(Charles Univ., Prague, CZE)
資料名:
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻:
392
号:
2
ページ:
208-213
発行年:
2001年07月30日
JST資料番号:
B0899A
ISSN:
0040-6090
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)