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文献
J-GLOBAL ID：200902132262318163
整理番号：95A0746595
化学量論組成の酸化物ターゲットを用いた高周波マグネトロンスパッタリングより作製したPb(Zr,Ti)O3膜の評価
Crystallization of Pb(Zr,Ti)O3 films prepared by radio frequency magnetron sputtering with a stoichiometric oxide target.
BASIT N A
(Univ. Pittsburgh, Pennsylvania)
,
KIM H K
(Univ. Pittsburgh, Pennsylvania)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 13 号： 4 ページ： 2214-2220 発行年： 1995年07月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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