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文献

J-GLOBAL ID：200902132570704678 整理番号：96A0236334

レーザ集束原子蒸着

Laser-Focused Atomic Deposition.

著者 (4件)：

MCCLELLAND J J

(National Inst. Standards and Technol., MD)

SCHOLTEN R E

(National Inst. Standards and Technol., MD)

PALM E C

(National Inst. Standards and Technol., MD)

CELOTTA R J

(National Inst. Standards and Technol., MD)

資料名：

Science (Science)

巻： 262 号： 5135 ページ： 877-880 発行年： 1993年11月05日
JST資料番号： E0078A ISSN： 0036-8075 CODEN： SCIEA 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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