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文献
J-GLOBAL ID：200902132697900158
整理番号：93A0614811
ほうりんけい酸塩ガラス膜に用いたジボラン混合物の安定度
Stability of Diborane Mixtures Used for Borophosphosilicate Glass Films.
FLAHERTY E T
(Matheson Gas Products, Research and Development, New Jersey)
,
MARSHALL J
(Matheson Gas Products, Research and Development, New Jersey)
,
ALBERT P
(Matheson Gas Products, Research and Development, New Jersey)
,
BRZYCHCY A M
(Matheson Gas Products, Research and Development, New Jersey)
,
FORBES D
(Matheson Gas Products, Research and Development, New Jersey)
,
HALVERSON R
(IBM Corp., Vermont)
資料名：
Journal of the Electrochemical Society
(Journal of the Electrochemical Society)
巻： 140 号： 6 ページ： 1709-1713 発行年： 1993年06月
JST資料番号： C0285A ISSN： 1945-7111 CODEN： JESOAN 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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