前のページに戻るこの文献は全文を取り寄せることができます

JDreamⅢ複写サービスから文献全文の複写（冊子体のコピー）をお申込みできます。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。

既に、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDをお持ちの方

JDreamⅢ複写サービス
文献複写のお申込み

JDreamⅢ複写サービスのご利用が初めての方

学術文献の全文複写をお取寄せ
JDreamⅢ複写サービスのご案内

取り寄せる文献のタイトルと詳細

文献

J-GLOBAL ID：200902132807031460 整理番号：93A0950240

ウエハ裏面を使用して傾き効果を打ち消す,新しい0.1μmリソグラフィーのためのアラインメント法

Novel alignment technique for 0.1-μm lithography using the wafer rear surface and canceling tilt effect.

著者 (3件)：

KATAGIRI S

(Hitachi, Ltd., Tokyo, JPN)

MORIYAMA S

(Hitachi, Ltd., Tokyo, JPN)

TERASAWA T

(Hitachi, Ltd., Tokyo, JPN)

資料名：

Optical Engineering (Optical Engineering)

巻： 32 号： 10 ページ： 2344-2349 発行年： 1993年10月
JST資料番号： B0577B ISSN： 0091-3286 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

JDreamⅢ複写サービスとは

JDreamⅢ複写サービスは、学術文献の全文を複写（コピー）して取り寄せできる有料サービスです。インターネットに公開されていない文献や、図書館に収録されていない文献の全文を、オンラインで取り寄せることができます。J-GLOBALの整理番号にも対応しているので、申し込みも簡単にできます。全文の複写（コピー）は郵送またはFAXでお送りします

※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。

TOP

BOTTOM