文献
J-GLOBAL ID:200902132836629863
整理番号:93A0978794
基板を通しての集積回路の電気的および熱的信号検出用のヘテロダイン干渉計
Heterodyn interferometer for the detection of electric and thermal signals in integrated circuits through the substrate.
著者 (3件):
GOLDSTEIN M
(TU Muenchen, Garching, DEU)
,
SOELKNER G
(Siemens AG, Muenchen, DEU)
,
GORNIK E
(TU Muenchen, Garching, DEU)
資料名:
Review of Scientific Instruments
(Review of Scientific Instruments)
巻:
64
号:
10
ページ:
3009-3013
発行年:
1993年10月
JST資料番号:
D0517A
ISSN:
0034-6748
CODEN:
RSINAK
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)