文献
J-GLOBAL ID:200902132919754139
整理番号:96A0998573
プラスチック製箱内に貯蔵したシリコンウエハ上の極微量の有機汚染物質の同定と除去
Identification and Removal of Trace Organic Contamination on Silicon Wafers Stored in Plastic Boxes.
著者 (2件):
SAGA K
(Sony Corp., Atsugi, JPN)
,
HATTORI T
(Sony Corp., Atsugi, JPN)
資料名:
Journal of the Electrochemical Society
(Journal of the Electrochemical Society)
巻:
143
号:
10
ページ:
3279-3284
発行年:
1996年10月
JST資料番号:
C0285A
ISSN:
1945-7111
CODEN:
JESOAN
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)