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文献
J-GLOBAL ID：200902132930189320
整理番号：93A0200149
エネルギー範囲50~120MeVのアルミニウムのけい素への注入
Implants of aluminum in the 50-120 MeV energy range into silicon.
LA FERLA A
(Univ. Catania, Catania, ITA)
,
CIAVOLA G
(INFN, Catania, ITA)
,
CARNERA A
(Univ. Padova, Padova, ITA)
,
TORRISI L
(Univ. Catania, Catania, ITA)
,
GASPAROTTO A
(Univ. Padova, Padova, ITA)
,
GALVAGNO G
(Univ. Catania, Catania, ITA)
,
RIMINI E
(Univ. Catania, Catania, ITA)
資料名：
Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms
(Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)
巻： 73 号： 1 ページ： 9-13 発行年： 1993年01月
JST資料番号： H0899A ISSN： 0168-583X 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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